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半导体FAB中的清洗工艺与半导体封装清洗剂介绍
半导体FAB中的清洗工艺指的是对Wafer表面进行无损伤的清洗,主要是用于去除再制造工艺中可能产生的Particle,为下一道工艺提供更好的前提条件,避免Particle影响Wafer的良率和性能。
下面 小编给大家分享的是半导体FAB中的清洗工艺与半导体封装清洗剂相关知识,希望能对您有所帮助!
半导体FAB中的清洗工艺:
1、在硅片制造过程中,经过CMP后的硅片,需要通过清洗保证硅片表面的平整度和性能,从而提高在后续工艺中的良率。
2、在晶圆的加工过程中,Wafer经过LITHO、ETCH、PVD、CVD等关键工序前后均需要清洗,去除Wafer表面的的Particle,减小缺陷率。
3、在芯片的先进封装过程中,芯粒(Die)需要根据封装工艺进行TSV(硅穿孔)清洗、UBM(凸点底层金属)清洗、RDL( 薄膜再分布技术)清洗。
在半导体的这三大生产过程中,晶圆的加工过程中需要的的清洗步骤是最多的,清洗设备也使用的最多,几乎每一步LITHO、ETCH、PVD、CVD、IMPLANT、CMP均需要经历清洗工艺。
半导体封装清洗剂W3100介绍:
半导体封装清洗剂W3100是 开发具有创新型的中性水基清洗剂,专门设计用于浸没式的清洗工艺。适用于清洗去除半导体电子器件上的助焊剂残留物,如引线框架、分立器件、功率模块、倒装芯片、摄像头模组等。本品是PH中性的水基清洗剂,因此具有良好的材料兼容性。
半导体封装清洗剂W3100的产品特点:
1、本品可以用去离子水稀释后使用,稀释后为均匀单相液,应用过程简单方便。
2、产品PH值呈中性,对铝、铜、镍、塑料、标签等敏感材料上显示出极好的材料兼容性。
3、不含卤素,材料环保;气味清淡,使用液无闪点,使用安全,不需要额外的防爆措施。
4、由于PH中性,减轻污水处理难度。
半导体封装清洗剂W3100的适用工艺:
水基清洗剂W3100适用于浸没式的清洗工艺。
半导体封装清洗剂W3100产品应用:
水基清洗剂W3100是 开发具有创新型的中性水基清洗剂,适用于清洗去除半导体电子器件上的助焊剂残留物,如引线框架清洗、分立器件清洗、功率模块清洗、倒装芯片清洗、摄像头模组清洗等。本产品PH值呈中性,对铝、铜、镍、塑料、标签等敏感材料上显示出极好的材料兼容性。
具体应用效果如下列表中所列:
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