半导体零部件(1)-真空泵

半导体零部件(1)-真空泵

真空技术是建立低于大气压力的物理环境，以及在此环境中进行工艺制作、物理测量和科学试验等所需的技术。真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应用四个方面。真空获得设备，即获得、改善和（或）维持真空环境的装置，主要指真空泵，是真空技术中最关键的设备种类。

真空相关知识：

真空是指在指定空间内低于环境大气压力的气体状态，也就是该空间内气体分子数密度低于该地区大气压的气体分子数密度。完全没有气体的空间状态称为绝对真空，实际上是不存在的。在真空技术中，常用真空度来衡量真空状态下空间气体的稀薄程度，通常真空度用气体的压力值来表示。压力值越高，真空度越低；压力值越低，真空度越高。

常用的压力单位为Pa，1Pa压力是在1平方米的面积上作用1N的力；此外还有标准大气压1atm、托Torr、巴Bar等压力单位。一般认为在标准情况下760mm高的汞柱产生的压力为1atm，即1atm=760mmHg=101325Pa；1Torr=1/760 atm；1Pa=10ubar（微巴）=10^-2 mbar （毫巴）。

通常可以把真空度划分为以下区段：低真空，10^5 Pa-10^2 Pa；中真空，10^2 Pa-10^-1 Pa；高真空，10^-1 Pa-10^-5 Pa；超高真空，＜10^-5 Pa。

表1：真空度划分范围及应用领域

真空泵分类及作用机理：

按照工作原理的不同，真空泵分为气体传输泵和气体捕集泵两大类。

气体传输泵可以被进一步分为变容真空泵和动量真空泵两类。变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气的装置，气体在排出前被压缩。可分为往复式和旋转式两种。动量真空泵是通过高速旋转的叶片或射流，把动量传输给气体或者气体分子，使气体连续不断的从入口传输到出口的真空泵。

气体捕集泵是使气体分子被吸附或冷凝而保留在泵内表面上的一种真空泵，主要包括吸附泵、吸气剂泵、升华（蒸发）泵、吸气剂离子泵、低温泵等类型。

表2：气体传输泵的分类及应用

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