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电子制成清洗中在线清洗剂监测系统
在线化学品监测系统 (Inline Chemical Monitoring System, ICMS)，电子制程清洗过程中对清洗剂和超纯水(UPW)的实时监测可提供用于改善制造工艺和最大程度提升产品产量的重要信息。在通过罐或桶的运输过程、清洗剂供应中心、分配过程以及使用过程中，对制程清洗剂中的金属杂质进行监测，需要全天候进行化学品监测，验证低ppt甚至亚ppt级的金属污染。为提供针对在线制程清洗剂分析的解决方案。在线化学品监测系统通过远程布设多个化学品采样点位并将其汇聚阀进样中心模块，最后导入ICP-MS进行检测。这种方式既减少了人工采样可能的污染，又做到了实时监测。
一、在线清洗剂监测系统的作用：
1、远程在线取样，适用于制程化学品和UPW（从长达300m的距离处）。
2、小体积取样（<10mL），最大程度减少珍贵高纯度化学品的消耗量。
3、快速彻底的清洗。
4、针对每种化学品的专用传输线。
二、在线清洗剂监测系统的优势：
以上是关于电子制成清洗中在线清洗剂监测系统的相关内容介绍了，希望能对您有所帮助！
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