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晶圆级封装的工艺流程及晶圆级封装清洗剂介绍

晶圆级封装的工艺流程及晶圆级封装清洗剂介绍

什么是晶圆级封装:

晶圆级封装简称WLP,一种在晶圆级别进行封装的技术。与传统的芯片封装方式相比,WLP技术具有更高的集成度、更小的封装尺寸和更低的成本。通过在晶圆上进行封装操作,将多个芯片或器件集成在一个封装体内,从而实现更高的性能和更小的体积。

晶圆表面污染物.png

晶圆级封装的工艺流程:

晶圆级封装的工艺流程是一个复杂且精细的过程,旨在将芯片从硅晶圆中切割、封装成具有引脚和保护外壳的可使用组件。切割晶圆并清洗和检查后的具体步骤如下:

1、涂覆第一层:通过涂覆聚合物薄膜以加强芯片的钝化层,起到应力缓冲的作用。聚合物种类有光敏聚酰亚胺(PI)、苯并环丁烯(BCB)、聚苯并恶唑(PBO)。

2、重布线层:在芯片和载体之间建立电气连接,通过焊线键合或其他先进的封装技术来实现。在扇入型晶圆级芯片封装(Fan-In WLCSP)中,通过溅射工艺在晶圆表面制备金属膜,利用光刻和电镀工艺形成金属引线。对芯片的铝/铜焊区位置重新布局,使新焊区满足对焊料球最小间距的要求。光刻胶作为选择性电镀的模板以规划RDL的线路图形,最后湿法蚀刻去除光刻胶和溅射层。

3、涂覆第二层:涂覆聚合物薄膜,使得圆片表面平坦化并保护重布线层,并在第二层聚合物薄膜光刻出新焊区位置。

4、凸点下金属层:采用和重布线层一样的工艺流程制作。

5、植球:通过精确利用掩膜板进行定位,焊膏和焊料球被准确地放置在UBM(底层金属化)上。随后,这些元件被送回流炉中,焊料在回流过程中融化,并与UBM形成优质的浸润性结合,从而确保了出色的焊接质量。

晶圆级封装的工艺流程.png

晶圆级封装清洗剂W3805介绍

晶圆级封装清洗剂W3805针对焊后残留开发的具有创新型的无磷无氮 PH中性配方的浓缩型水基清洗剂。适用于SiP系统封装清洗及清洗不同类型的电子组装件上的焊剂、锡膏残留。由于其PH中性,对敏感金属和聚合物材料有极佳的材料兼容性。

晶圆级封装清洗剂W3805的产品特点:

1、本品无磷、无氮、清洗能力好。

2、不燃不爆,使用安全,对环境友好。

3、材料安全环保,创造安全环保的作业环境,保障员工身心健康。

4、可极大提高工作效率,降低生产成本。

晶圆级封装清洗剂W3805的适用工艺:

无磷无氮水基清洗剂W3805适用于喷淋清洗工艺。

晶圆级封装清洗剂W3805产品应用:

W3805是创新型浓缩型水基清洗剂,清洗时可根据残留物的清洗难易程度,用去离子水稀释后再进行使用。

适用于SiP系统封装清洗及清洗不同类型的电子组装件上的焊剂、锡膏残留。由于其 PH 中性,对敏感金属和聚合物材料有极佳的材料兼容性。


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