晶圆清洗工艺之SC清洗

晶圆清洗工艺之SC清洗晶圆清洗工艺的目的是在不改变或损坏晶圆表面或衬底的情况下去除化学和颗粒杂质（下图）。晶圆清洗是为了预扩散清洗，即使其表···

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晶圆清洗工艺之RCA清洗

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