高端性能封装的结构解析与先进封装芯片清洗

高性能计算、人工智能、5G 通信、数据中心和云计 算的快速发展使芯片的技术节点不断向前推进，单颗 芯片上集成的晶体管数目已超过百亿级。与此同时， 将更多功能集成在单颗芯片的难度不断增大，设计与 制造的成本不断上升。与 90 nm 技术节点相比，3 nm技术节点的投资成本增加了 35~40 倍，仅英特尔 （Intel）、台积电（TSMC）和三星（Samsung）3 家头部企 业参与其中。5 nm 技术节点的设计成本超过 5 亿美 金，约是 28 nm 的 10 倍。为解决上述问题，出现了 Chiplet 概念。

Chiplet 作为一种设计概念，指将单颗集成复杂功 能的片上系统级芯片（SoC）离散成多颗特定功能的小 芯片（Chiplet，又称“芯粒”），再采用封装技术将其整合 在一起，构成多功能的异构系统级封装（SiP），以持续 提高器件算力，缩短产品开发周期，提升产品良率，降 低整体成本。

高端性能封装的结构
高端性能封装主要以追求最优化计算性能为目的，其结构主要以 UHD FO、2.5D 和 3D 先进封装为 主。在上述封装结构中，决定封装形式的主要因素为 价格、封装密度和性能等。 

由 TSMC 在先进封装上的主要业务可知，推动高 端性能封装的主要项目为高性能计算与高带宽存储， 其代表结构为基于硅转接板的芯片在晶圆基板上的 封装（CoWoS@-S），是一种典型的 2.5D 封装结构。该 结构将处理芯片和存储芯片平铺在硅转接板上，采用 线宽 / 线间距为 0.4 μm /0.4 μm 的金属布线将其互 连。TSMC 突破光罩对硅转接板面积的限制，结合集成 芯片的数量，制定了其在 2.5D 封装上的发展路线。 Intel 和 Samsung 在 2.5D 封装上，也具有类似的封装结构。对于 2.5D 封装而言，硅转接板可提供亚微米 级高密度布线，能够显著提升多芯片的组装密度。随 着高带宽存储芯片的数据传输效率逐步提升，采用 2.5D 封装连接存储芯片和处理器芯片将成为主流的 选择。然而，硅转接板采用前道晶圆制造的设备和工 艺，制作成本相对昂贵。为此，一些企业在 FO 封装的 基础上进一步深耕，开发出多样化的结构，以满足一 些稍低端产品的需求。

FO 通过晶圆重构技术，将多颗相同或不同的芯 片灵活组合起来，以实现多芯片集成的目的。在此基 础上，FO 采用高密度布线有机层、硅桥和高速基板等 来提升器件的性能，衍生出了 2D、2.1D、2.2D 和 2.3D 封装结构，以实现超高密度 I/O 的连接。由于 FO 主要采用高分子材料来制造芯片间的微米级布线，其 自身的线宽 / 间距的尺寸极限也相对明显。为进一步 缩小 FO 封装的布线尺寸，新的设备与材料有待开发， 同时，封装成本也将大大提高。因此，FO 封装主要应 用在性能相对较低的存储器与处理器芯片上。 

在高端性能封装中，处理芯片和存储芯片对高带 宽、低延迟有严格的要求，3D 封装是最理想的方案。目 前，常见的 3D 封装结构为存储芯片间垂直互连以及 存储芯片与逻辑芯片间的连接。在上述结构中，除采 用微凸点的芯片堆叠（C2C）和晶圆上芯片（C2W）工艺 外，基于硅通孔和混合键合（HB）的无凸点工艺实现了 异构异质芯片间的最短距离互连，将器件性能提至最 优，其投资成本也最高。预计在 2023 年，TSMC 采 用 HB 的集成芯片系统封装（SoIC）将率先实现量产。 

随着高端性能封装技术的发展，不同维度封装结 构间的界限将变得模糊，将其集合成一个系统的 SiP 会变得普遍，图 1 为集成多维度封装的 SiP 结构示意 图。例如 Intel 的最新产品 Ponte Vecchio 集成了嵌入 式多芯片互连桥接技术（EMIB）和逻辑晶圆 3D 堆叠 技术（Foveros）；TSMC 的 SoIC 也可与 CoWoS 和集成扇出型叠层封装（InFO-PoP）相结合并共同使用。上述 结构可以实现器件对性能的极致追求，同时，多颗处 理芯片的集成也为器件的热耗散带来巨大挑战。 

先进封装芯片清洗剂：

先进封装产品芯片焊后封装前，基板载板焊盘上的污染物有多种，可归纳为离子型和非离子型两大类。离子型污染物接触到环境中的湿气，通电后发生电化学迁移，形成树枝状结构体，造成低电阻通路，破坏了电路板功能。非离子型污染物可穿透PC B 的绝缘层，在PCB板表层下生长枝晶。除了离子型和非离子型污染物，还有粒状污染物，例如焊料球、焊料槽内的浮点、灰尘、尘埃等，这些污染物会导致焊点质量降低、焊接时焊点拉尖、产生气孔、短路等等多种不良现象。

这么多污染物，到底哪些才是最备受关注的呢？助焊剂或锡膏普遍应用于回流焊和波峰焊工艺中，它们主要由溶剂、润湿剂、树脂、缓蚀剂和活化剂等多种成分，焊后必然存在热改性生成物，这些物质在所有污染物中的占据主导，从产品失效情况来而言，焊后残余物是影响产品质量最主要的影响因素，离子型残留物易引起电迁移使绝缘电阻下降，松香树脂残留物易吸附灰尘或杂质引发接触电阻增大，严重者导致开路失效，因此焊后必须进行严格的清洗，才能保障电路板的质量。

针对先进封装产品芯片焊后封装前，基板载板焊盘、电子制程精密焊后清洗的不同要求， 在水基清洗方面有比较丰富的经验，对于有着低表面张力、低离子残留、配合不同清洗工艺使用的情况，自主开发了较为完整的水基系列产品，精细化对应涵盖从半导体封装到PCBA组件终端，包括有水基清洗剂和半水基清洗剂，碱性水基清洗剂和中性水基清洗剂等。具体表现在，在同等的清洗力的情况下， 的兼容性较佳，兼容的材料更为广泛；在同等的兼容性下， 的清洗剂清洗的锡膏种类更多（测试过的锡膏品种有ALPHA、SMIC、INDIUM、SUPER-FLEX、URA、TONGFANG、JISSYU、HANDA、OFT、WTO等品牌；测试过的焊料合金包括SAC305、SAC307、6337、925等不同成分），清洗速度更快，离子残留低、干净度更好。